賀德克壓力傳感器壓力量程的選用應(yīng)主要考慮三個(gè)方面的因素:即傳感器的zui大過壓能力、精度與壓力量程的關(guān)系和傳感器的價(jià)格與壓力量程的關(guān)系。
單晶硅效應(yīng)包括n型和p型硅壓阻效應(yīng)。選用擴(kuò)散硅目的在于在設(shè)計(jì)制造壓力傳感器時(shí)可根據(jù)不同溫度下硅擴(kuò)散層的壓阻特性選擇合適的擴(kuò)散條件，力求使賀德克壓力傳感器具有良好的性能。多晶硅在傳感器中有廣泛的用途，可作為微結(jié)構(gòu)和填充材料、敏感材料。
賀德克HYDAC壓力傳感器只有受定向應(yīng)力時(shí)才表現(xiàn)出各向異性，由于應(yīng)力能引起能帶的變化，能量移動(dòng)，導(dǎo)致電阻率的變化，于是就有電阻的變化，從而產(chǎn)生壓阻效應(yīng)。
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已知范圍內(nèi)的HYDAC傳感器線性也可作為選擇傳感器的附加條件。響應(yīng)時(shí)間通常用時(shí)間常數(shù)表示，它是選擇傳感器的另一個(gè)基本依據(jù)。
當(dāng)要監(jiān)視貯槽中溫度時(shí)，時(shí)間常數(shù)不那么重要。然而當(dāng)使用過程中必須測(cè)量振動(dòng)管中的溫度時(shí)，賀德克壓力傳感器時(shí)間常數(shù)就成為選擇傳感器的決定因素。 |
